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TF200光學(xué)膜厚儀
產(chǎn)品特點
白光干涉測厚儀TF200-XNIR
產(chǎn)品特點
快速、準(zhǔn)確、無損、靈活、易用、性價比高
應(yīng)用案例
應(yīng)用領(lǐng)域
? ?
半導(dǎo)體（SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS，SOI等）? ? ? LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)? ? ? ? ? LED (SiO2、光刻膠ITO等）
?
觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)???????????????? ?汽車(防霧層、Hard Coating DLC等）? ? ? ? ? ? ? ? 醫(yī)學(xué)（聚對二甲苯涂層球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等）
技術(shù)參數(shù)
型號 |
TF200-VIS |
TF200-EXR |
TF200-DUV |
TF200-XNIR |
波長范圍 |
380-1050nm |
380-1700nm |
190-1100nm |
900-1700nm |
厚度范圍 |
50nm-40um |
50nm-300um |
1nm-30um |
10um-3mm |
準(zhǔn)確度1 |
2nm |
2nm |
1nm |
10nm |
精度 |
0.2nm |
0.2nm |
0.2nm |
3nm |
入射角 |
90° |
90° |
90° |
90° |
樣品材料 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
測量模式 |
反射/透射 |
反射/透射 |
反射/透射 |
反射/透射 |
光斑尺寸2 |
2mm |
2mm |
2mm |
2mm |
是否能在線 |
是 |
是 |
是 |
是 |
掃描選擇 |
XY可選 |
XY可選 |
XY可選 |
XY可選 |
注：1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。
? ? ? ?2.可選微光斑附件。
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