ContourGT-K三維光學顯微鏡完善了表面測量和分析的新標準，這套測量系統(tǒng)擁有工業(yè)領先的測量性能和靈活性，采用專利白光干涉技術，超大視野內埃級至毫米級的垂直計量范圍，具有業(yè)界最高的垂直分辨率和測量重復性。
?
主要應用
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量；
2、 廣泛應用于半導體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結構、MEMS 器件關鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機械加工部件等領域的測量。
?
主要參數(shù)
垂直量程 |
0.1nm 至 10mm（閉環(huán)無拼接） |
垂直分辨率 |
0.1nm |
電動樣品臺移動范圍 |
±150mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動 |
橫向取樣間隔 |
0.1μm 至 13.2μm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 ) |
光學橫向分辨率 |
最高 350nm |
臺階測試精度 |
0.75% |
臺階重復性 |
|
傾斜調整 |
手動樣品臺調節(jié) ? ± 6° |
垂直掃描速度 |
最快 47um / 秒，用戶可自行設定 |
轉塔調節(jié) |
手動自動可選 |
|
? 分析軟件功能 |
可進行兩維和三維分析，多區(qū)域自動分析（可對目標區(qū)域進行統(tǒng)計編號，可自動分析目標區(qū)域內高度或深度分布情況），可分析表面粗糙度，可分析樣品表面缺陷及臺階高度，?并可對多次測量數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計，得到詳細的統(tǒng)計報告（含平均值，方差，最小值，最大值等）。可進行編程自動多點測量。可提供的數(shù)據(jù)包括高逼真度的三維圖像，二維剖面圖， ? 以及大量完整的表面粗糙度參數(shù)。 |
?
尊敬的客戶您好，
非常感謝您訪問接觸角測量儀_表界面張力儀__拉曼光譜儀__X射線衍射儀__X射線熒光光譜儀__納米粒度儀廠家-廣州貝拓科學技術有限公司官方網(wǎng)站，如果您有任何需求或者咨詢都可以留言告訴我們，我們的客服將會盡快給您回復。