SE-VM 是一款高精度快速測(cè)量光譜橢偏儀?？赏ㄟ^(guò)橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析，適用于薄膜材料的快速測(cè)量表征。支持多角度，微光斑，可視化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置，多功能模塊定制化設(shè)計(jì)。 高精度橢偏測(cè)量解決方案；超高精度、快速無(wú)損測(cè)量；支持多角度、微光斑、可視化調(diào)平系統(tǒng)功能模塊靈活定制；豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù)，保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力。 廣泛應(yīng)用于鍍膜工藝控制、tooling校正等測(cè)量應(yīng)用,實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜、納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)常數(shù)和幾何特征尺寸快速的表征分析。
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產(chǎn)品型號(hào) |
SE-VM光譜橢偏儀 |
主要特點(diǎn) |
1、采用高性能進(jìn)口復(fù)合光源，光譜覆蓋可見(jiàn)到近紅外范圍 (380-1000nm) 2、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置，實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集 3、支持系列配置靈活，可根據(jù)不同應(yīng)用場(chǎng)景支持多功能模塊化定制 4、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù)，涵蓋了目前絕大部分的光電材料 |
技術(shù)參數(shù) |
1、自動(dòng)化程度：手動(dòng)變角 2、應(yīng)用定位：通用型 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜 4、分析光譜380-1000nm(可擴(kuò)至210-1650nm) 5、單次測(cè)量時(shí)間：0.5-5s 6、重復(fù)性測(cè)量精度：0.01nm 7、光斑大?。捍蠊獍?-3mm,微光斑200μm 8、入射角調(diào)節(jié)方式：手動(dòng)變角 9、入射角范圍：55-75°(5°步進(jìn)),90° 10、找焦方式：手動(dòng)找焦 11、Mapping行程：不支持 12、支持樣件尺寸：*大至180mm |
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