SE-VE 是一款超高性?xún)r(jià)比、快速測(cè)量光譜橢偏儀,緊湊集成設(shè)計(jì),使用簡(jiǎn)便,可一鍵快速測(cè)量表征各式光學(xué)薄膜膜厚以及光學(xué)常數(shù)等信息。高性?xún)r(jià)比光學(xué)橢偏測(cè)量解決方案,緊湊集成化設(shè)計(jì),精良用戶(hù)操作體驗(yàn),一鍵快速測(cè)量分析,人機(jī)交互設(shè)計(jì),使用便捷,豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù),保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力,廣泛應(yīng)用于科研/企業(yè)中各種單層到多層薄膜膜厚以及光學(xué)常數(shù)等快速表征分析。
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產(chǎn)品型號(hào) |
SE-VE光譜橢偏儀 |
主要特點(diǎn) |
1、采用高性能進(jìn)口復(fù)合光源,光譜覆蓋可見(jiàn)到近紅外范圍 (400-800nm) 2、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置,實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集 3、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù),涵蓋了目前絕大部分的光電材料 |
技術(shù)參數(shù) |
1、自動(dòng)化程度:固定角 2、應(yīng)用定位:經(jīng)濟(jì)型 3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R等光譜 4、分析光譜:400-800nm 5、單次測(cè)量時(shí)間:0.5-5s 6、重復(fù)性測(cè)量精度:0.05nm 7、光斑大?。捍蠊獍?-3mm 8、入射角調(diào)節(jié)方式:固定角 9、入射角范圍:65° 10、找焦方式:手動(dòng)找焦 11、Mapping行程:不支持 12、支持樣件尺寸:*大至160mm |
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